english
Kontakt :: Impressum  

 





P-871 PICMA® Multilayer-Piezobiegeaktoren mit Positionssensor

  • Positionssensor für hohe Genauigkeit
  • Nanometer Auflösung
  • Auslenkung bis 1,6 mm
  • Keramische Isolation für hohe Lebensdauer
  • Ideal für Scan-Anwendungen
  • Vakuumkompatible Versionen
  • Geringe Betriebsspannung
  • Montageadapter inklusive
  • Spezielle OEM- und Tischcontroller verfügbar

Die PICMA® Multilayer-Piezobiegeaktoren der Serie P-871 basieren auf den PL122 bis PL140 Biegern und bieten geregelte Auslenkungen bis 1,6 mm mit Ansprechzeiten im Millisekundenbereich. Die integrierten Sensoren ermöglichen im positionsgeregelten Betrieb eine wesentlich bessere Linearität und Wiederholbarkeit als bisher erhältliche Biegewandler.

Aufbau

Die monolithischen Aktoren werden aus ca. 50 µm dicken Piezokeramikschichten mit internen Silber-Palladium Elektroden und keramischer Isolation im „Cofiring“ Verfahren hergestellt. Durch die geringe Schichtdicke können sie mit wesentlich niedrigeren Spannungen arbeiten als klassische Parallelbimorph-Biegeelemente. Zur einfachen Installation werden die Aktoren mit Kabeln, Steckern und einem Montageadapter ausgeliefert.

Höhere Lebensdauer durch keramische Isolation

Durch die vollkeramische Isolation sind PICMA® Aktoren deutlich besser gegen Umwelteinflüsse geschützt als konventionelle Piezoaktoren und erreichen deshalb eine weit höhere Lebensdauer in statischen und dynamischen Anwendungen.

Hohe Genauigkeit im geregelten Betrieb

Die P-871 Aktoren bieten durch die Positionsregelung eine deutlich höhere Genauigkeit als konventionelle Biegeaktoren und sind auch gut für Scanning und Strahlsteuerungsaufgaben geeignet. Durch den Wegfall der üblichen Epoxydharzisolationsschicht kann der DMS-Positionssensor direkt auf den Biegeaktor aufgebracht werden. Das ermöglicht schnelleres Ansprechen, höhere Stabilität, Auflösung und geringere Phasenverschiebung des Sensorsignals. Die typische Linearität liegt bei 0,5%, und die Einschwingzeit beträgt zwischen 10 ms für den P-871.112 und 30 ms für den P-871.140 (Werte für Kleinsignalbetrieb, bis zu 1% Auslenkung, <1% Abweichung).

Piezocontroller: Tischgeräte und OEM-Boards

Die neuen Ein- und Zweikanalcontroller E-651.1S und E-651.2S und das OEM-Board E-614.2BS wurden speziell für die P-871 Biegerserie entwickelt. Der Abgleich der Controller auf den jeweiligen Aktor ist im Systempreis enthalten.

Anwendungsbeispiele

  • Wire-Bonder
  • Faseroptische Schalter
  • (Laser)-Strahlsteuerung
  • Mikropositionierung
  • Bildstabilisierung
  • Scannen und Justage optischer Komponenten






PI USA · Aktuatoren für die Nanopositionierung · Piezo Translatoren · Piezo Motor · PI Home